UHV 앵글 밸브는 초고진공 조건 또는 베이킹 조건 내에서 사용됩니다.적용 가능한 매체는 공기 및 비부식성 가스입니다.벨로우즈 샤프트 실링과 무산소 구리 금속 실링 플랜지가 있는 이상적인 구조로 450ºC 온도를 견딜 수 있습니다.
옵션인 CD-J 앵글 유형 및 CD-S 티 유형은 플랜지 끝 프리 펌프 포트 내에서 선택 가능합니다.
작동은 수동, 공압식, 전동식 드라이브가 될 수 있습니다.
적용 범위 | 105~1.3×10-7아빠 |
밸브 누설률 | ≤1.3×10-8Pa.L/S. |
중간 온도 | ≤450ºC |
설치 상태 | 어느 |
몸、줄기、보닛 | 스테인레스 스틸 |
밀봉하다 | 무산소 구리、벨로우즈(샤프트 씰) |